位移傳感器（位移探頭）

　　電容式傳感器是典型的位移敏感裝置。它的輸出正比于被測運動相對位移的變化造成的兩極板間電容的變化。用適當的電子設備產生與電容變化相對應的電壓。

　　電容式位移傳感器的主要優(yōu)點是：（1）安裝簡單；（2）因為它是非接觸式傳感器，不會對系統(tǒng)附加質量或約束，所以對振動系統(tǒng)的工作沒有影響；（3）靈敏度高；（4）因其背景噪聲小，所以位移量程寬；（5）頻率范圍寬，其頻率范圍只取決于所用電路。

　　電容式傳感器通常要來測量振動系統(tǒng)中導電面的振動，將這一面用作電容器的接地極。這時，電容器的絕緣極板應安裝在接近振動面的剛性結構上。

　　傳感器的最高工作溫度取決于極板支架和導線的絕緣擊穿電阻。在市場上通常使用氧化鋁制的絕緣套，可以保證在1093℃的高溫下仍具有較好的絕緣性。

　　可變電容式加速度傳感器

　　硅微機械可變電容技術是用來制造測量低水平的加速度（2~100g）并且可以抵抗高水平沖擊（5000~20000g）的微型加速度傳感器。

　　通過使用板橋路可變電容微傳感器來實現對加速度的敏感。每個電路元件的電容隨所施加的加速度增大而增大，而其他元件的電容則減小。通過信號調節(jié)，加速度傳感器可提供線性化的高電平輸出。

　　微傳感器元件的地震質量塊的滿量程位移略高于10微英寸。為了能夠探測微傳感器中因加速度而產生的很小的電容變化，需要采用高精度支承的電子電路。一種方法就是在微傳感器的兩個電容元件上應用三角波。這就使得在元件上的電流與其電容成比例。檢流器和減法器對電流進行全波整流并輸出二者之差，然后用運算放大器將電流差轉化為輸出電壓信號，這樣就可得到與加速度成比例的高電平輸出。

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